質量流量控制器

檢測部采用了本公司獨立開發的稱為「μF傳感器」的熱式流量傳感器，是搭載有高級執行器控制技術的氣體用質量流量控制器。

利用μF傳感器的特長，實現了寬廣流量控制范圍的快速響應。

最適合應用于工廠生產工序的玻璃、釬焊加工的火焰控制等以前的質量流量控制器控制困難的低壓供給燃氣的流量控制。

豐富的產品種類，擴大了可使用的應用范圍。

質量流量檢測

與空氣、燃氣的使用溫度、壓力無關，可測量換算成標準狀態下的流量。

（* 標準狀態下的流量是指在1個大氣壓、0°C（或20°C）時的體積流量。）

寬廣的檢測范圍

相對于最大測量流量的低流量區域，一般的氣體流量計都難于檢測，通過搭載μF傳感器，可實現寬廣范圍的測量、控制。實現了質量流量計CMS的可調比100：1、大流量質量流量計CML的可調比160：1（測量范圍為1,280：1）的高可調比！

最適合于空氣及燃氣的使用量的管理、及節能的漏氣管理。

快速響應

細微、熱容量非常小的MEMS傳感器直接與氣體接觸進行檢測，實現了快速響應。

低圧損構造

μF傳感器設置在流路的壁面上，具有低壓力損失的特點。最適合于低圧氣體流量的檢測、控制。

高精度

μF傳感器隨時間的特性變化非常小，能長期保持高精度。

各種功能

通過控制機器積累的微電腦的技術，搭載了以前的質量流量計沒有的各種功能。

瞬時／累積流量顯示、燃氣種類切換功能、上下限報警輸出、模擬輸出、累積脈沖輸出、通信功能等?。? 因產品而異）

種類豐富的產品

根據使用用途，備有從5mL/min型號到500L/min型號的寬廣流量區域的產品。